TECHNOLOGY
Ny epitaksia taratra molekiola, na MBE, dia teknika vaovao hampitomboana sarimihetsika manify kristaly avo lenta amin'ny substrates kristaly. Amin'ny toe-javatra banga avo lenta, ny fatana fanafanana dia misy karazana singa ilaina rehetra ary mamokatra etona, amin'ny alàlan'ny lavaka noforonina taorian'ny collimating beam atomika na molekiola beam, tsindrona mivantana amin'ny mari-pana mety amin'ny substrate kristaly tokana, mifehy ny taratra molekiola amin'ny substrate scanning miaraka amin'izay, afaka mahatonga ny molekiola na atôma ao amin'ny sosona kristaly mba hamorona sarimihetsika manify amin'ny substrate "fitomboana".
Ho an'ny fiasan'ny fitaovana MBE ara-dalàna, dia ilaina ny fitaterana tsy tapaka sy tsy miovaova ny azota ranoka madio avo lenta, tsindry ambany ary tena madio ao amin'ny efitrano fampangatsiahana. Amin'ny ankapobeny, ny tanky manome azota ranoka dia manana tsindry eo anelanelan'ny 0.3MPa sy 0.8MPa. Mora mivadika ho azota ny azota ranoka amin'ny -196℃ mandritra ny fitaterana fantsona. Rehefa voatototra ao anaty fantsona ny azota ranoka manana tahan'ny entona-ranoka eo amin'ny 1:700 eo ho eo, dia haka toerana be dia be amin'ny fikorianan'ny azota ranoka izy io ary hampihena ny fikorianan'ny ranoka ara-dalàna amin'ny faran'ny fantsona azota ranoka. Ankoatra izany, ao amin'ny tanky fitahirizana azota ranoka, dia mety hisy poti-javatra tsy voadio. Ao amin'ny fantsona azota ranoka, ny fisian'ny rivotra mando dia hitarika amin'ny famokarana tain-dranomandry ihany koa. Raha ariana ao amin'ny fitaovana ireo loto ireo, dia hiteraka fahasimbana tsy ampoizina amin'ny fitaovana.
Noho izany, ny azota ranoka ao anaty tanky fitahirizana ivelany dia alefa any amin'ny fitaovana MBE ao amin'ny atrikasa tsy misy vovoka miaraka amin'ny fahombiazana avo lenta, fahamarinan-toerana ary fahadiovana, ary ny tsindry ambany, tsy misy azota, tsy misy loto, 24 ora tsy tapaka, ny rafitra fanaraha-maso ny fitaterana toy izany dia vokatra mahafeno fepetra.
Fitaovana MBE mifanaraka
Nanomboka tamin'ny taona 2005, ny HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) dia nanatsara sy nanatsara ity rafitra ity ary niara-niasa tamin'ireo mpanamboatra fitaovana MBE iraisam-pirenena. Ireo mpanamboatra fitaovana MBE, anisan'izany ny DCA, REBER, dia manana fifandraisana fiaraha-miasa amin'ny orinasanay. Ireo mpanamboatra fitaovana MBE, anisan'izany ny DCA sy REBER, dia niara-niasa tamin'ny tetikasa maro.
Riber SA dia mpamatsy vokatra epitaxy molecular beam (MBE) sy serivisy mifandraika amin'izany ho an'ny fikarohana semiconductor mitambatra sy ny fampiharana indostrialy. Ny fitaovana Riber MBE dia afaka mametraka sosona fitaovana manify dia manify eo amin'ny substrate, miaraka amin'ny fanaraha-maso avo lenta. Ny fitaovana banga an'ny HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) dia misy Riber SA. Ny fitaovana lehibe indrindra dia Riber 6000 ary ny kely indrindra dia Compact 21. Ao anatin'ny toe-javatra tsara izy io ary efa fantatry ny mpanjifa.
Ny DCA no MBE oksida malaza indrindra eran-tany. Nanomboka tamin'ny taona 1993, dia nisy ny fampandrosoana ara-drafitra ny teknika oksidasiona, ny fanafanana ny substrate antioxidant ary ny loharanon-karena antioxidant. Noho izany antony izany, laboratoara malaza maro no nisafidy ny teknolojia oksida DCA. Ampiasaina manerana izao tontolo izao ny rafitra MBE semiconductor composite. Ny rafitra VJ liquid nitrogen circulation an'ny HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) sy ny fitaovana MBE an'ny modely DCA maro dia manana traikefa mitovy amin'izany amin'ny tetikasa maro, toy ny modely P600, R450, SGC800 sns.
Tabilao Fahombiazana
| Ivontoerana Fizika Teknika Shanghai, Akademia Siansa Sinoa |
| Ny Ivontoerana faha-11 an'ny Orinasa Teknolojia Elektronika Shina |
| Ivontoerana ho an'ny Semiconductors, Akademia Shinoa momba ny Siansa |
| Huawei |
| Akademia Alibaba DAMO |
| Powertech Technology Inc. |
| Delta Electronics Inc. |
| Suzhou Everbright Photonics |
Fotoana fandefasana: 26 Mey 2021