Vaovao - Vita tao anatin'ny taona vitsivitsy ny Tetikasa Chip MBE

TECHNOLOGY

Molecular beam epitaxy, na MBE, dia teknika vaovao amin'ny famokarana sarimihetsika manify kristaly avo lenta amin'ny substrate kristaly.Amin'ny toe-javatra banga faran'izay avo, amin'ny alalan'ny fatana fanafanana dia fitaovana amin'ny singa rehetra ilaina sy miteraka etona, amin'ny alalan'ny lavaka niforona taorian'ny collimating andry atomika na molekiola andry, mivantana tsindrona amin'ny mety ny mari-pana ny kristaly tokana substrate, mifehy ny molekiola andry mba ny substrate scan amin'ny fotoana iray ihany, dia afaka manao ny molekiola na atôma amin'ny kristaly alignment sosona mba hamorona sarimihetsika manify amin'ny substrate "fitomboana".

Ho an'ny fampandehanana ara-dalàna ny fitaovana MBE, ny fahadiovana ambony, ny fanerena ambany ary ny azota ranoka madio indrindra dia tsy maintsy aterina tsy tapaka any amin'ny efitrano fampangatsiahana ny fitaovana.Amin'ny ankapobeny, ny tank iray izay manome azota azota dia manana tsindry mivoaka eo anelanelan'ny 0.3MPa sy 0.8MPa. Ny azota azota amin'ny -196 ℃ dia mora etona amin'ny azota mandritra ny fitaterana fantsona.Raha vao ny ranon-javatra azota amin'ny entona-ranoka tahan'ny tokony ho 1:700 dia gasified ao amin'ny fantsona, dia hibodo be dia be ny ranon-javatra azota mikoriana toerana ary hampihena ny ara-dalàna mikoriana amin'ny faran'ny ranon-javatra azota fantsona.Ankoatra izany, ao amin'ny tanky fitehirizana azota azota dia mety hisy potipoti-javatra tsy voadio.Ao amin'ny pipeline azota ranon-javatra, ny fisian'ny rivotra mando ihany koa dia hitarika amin'ny famokarana glasy.Raha ariana ao anaty fitaovana ireo loto ireo, dia hiteraka fahasimbana tsy ampoizina amin'ny fitaovana izany.

Noho izany, ny ranon-javatra azota ao amin'ny fitoeran-javatra fitahirizana ivelany dia nentina tany amin'ny MBE fitaovana ao amin'ny vovoka-maimaim-poana atrikasa amin'ny avo fahombiazana, fahamarinan-toerana sy madio, ary ny ambany fanerena, tsy misy azota, tsy misy loto, 24 ora tsy tapaka, toy izany rafitra fanaraha-maso ny fitaterana dia. vokatra mahafeno fepetra.

Mifanaraka amin'ny fitaovana MBE

Hatramin'ny 2005, HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) dia nanatsara sy nanatsara ity rafitra ity ary niara-niasa tamin'ireo mpanamboatra fitaovana MBE iraisam-pirenena.Ny mpanamboatra fitaovana MBE, anisan'izany ny DCA, REBER, dia manana fifandraisana amin'ny orinasanay.Ny mpanamboatra fitaovana MBE, anisan'izany ny DCA sy REBER, dia niara-niasa tamin'ny tetikasa marobe.

Riber SA dia mpamatsy eran'izao tontolo izao amin'ny vokatra molecular beam epitaxy (MBE) sy serivisy mifandraika amin'ny fikarohana semiconductor sy ny fampiharana indostrialy.Ny fitaovana Riber MBE dia afaka mametraka fitaovana tena manify amin'ny substrate, miaraka amin'ny fanaraha-maso avo be.Ny fitaovana vacuum an'ny HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) dia manana Riber SA Ny fitaovana lehibe indrindra dia Riber 6000 ary ny kely indrindra dia Compact 21. Ao anatin'ny toe-javatra tsara izy io ary efa fantatry ny mpanjifa.

DCA no oxide MBE voalohany indrindra eran-tany.Nanomboka tamin'ny 1993, ny fampivoarana ara-teknika ny teknikan'ny oxidation, ny fanamafisana ny substrate antioxidant ary ny loharano antioxidant dia natao.Noho izany antony izany, laboratoara lehibe maro no nisafidy ny teknolojia DCA oxide.Ny rafitra MBE semiconductor composite dia ampiasaina eran'izao tontolo izao.Ny VJ ranon-javatra azota mivezivezy rafitra ny HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) sy ny MBE fitaovana ny maro modely ny DCA manana traikefa mifanaraka amin'ny tetikasa maro, toy ny modely P600, R450, SGC800 sns.